杂质捕获仪，是一种专门针对被检测物料中的杂质进行报警剔除的仪器设备，广泛应用于矿山，冶金，食品加工，以及纺织等对于原材料成分要求较高的行业。近年来，随着社会生活水平的不断提高，广大---的健康意识---增强，同时频繁---的食品安全问题，也使得公众对于食品、的安全关注，若是在与人民健康密切相关食品---中混入金属杂质，将---损害公众的健康。另外，在工业生产领域，杂质捕获仪，尤其是一些对于原料纯度要求比较高的行业，如果原材料中混入螺丝钉等金属，很可能会在加工时损坏昂贵的机械设备，造成---的---。所以，杂质捕获仪费用，---的存在意义显得十分重要。
电子气体中的金属杂质主要来源于：1) 生产环境和制造过程中引入的微量金属杂质；2) 气体运输和储存过程中机械带入的金属杂质；3) 使用过程中外界环境引入的金属污染。这些金属杂质在气体中主要以0.1~20 μm悬浮颗粒或小于0.1 μm的气溶胶形式存在。只有将气体中的颗粒通过分离进行排除，才能减少或消除金属杂质。然而，目---般的过滤器的孔径小为0.2 μm，无法完全消除金属杂质。因此，建立气体中痕量金属杂质的检测方法，对高纯气体的生产、储存和运输等均具有指导意义
电感耦合等离子体原子发射光谱(， 简称icp-aes)是以电感耦合等离子体为激发光源，使样品中各成分的原子被激发并发射出特征谱线的光，再根据特征谱线的波长和强度来确定样品中所含的化学元素及其含量的一种分析技术 [14]。
icp-aes主要应用于金属元素分析，杂质捕获仪厂家，而对于非金属元素的测定灵敏度较差。其仪器检出限为10?9~10?7 g/ml，一般元素都存在灵敏度不同的多条谱线，杂质捕获仪价格，动态线性范围约为4~6个数量级，故非常适合测试基体复杂、元素含量范围变化大、要求测定元素多和批量大的试样 [15]。icp-aes的主要优缺点列于表3。
郑秋艳等 [17] 采用icp-aes测定了高纯wf6中cr、mn、fe、co、ni、cu、zn、mg、ca、na、k、pb及mo等金属元素的含量。由于wf6极易与空气中的水分发生反应，为此设计了一套与空气隔离的密闭取样系统。在装有待测金属元素的取样器内，先后加入---、---、使其溶解并定容，将待测溶液进行icp-aes分析。结果显示，各元素的检出限均小于0.005 mg/l，方法的回收率在90.5%~104.2%之间，测定值的相对标准偏差为3.2%~7.8%。
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